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AR膜缺陷檢測系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:EX2001S
  • 更新時(shí)間:2023-09-27

簡要描述:減反射增透膜( Anti-Refletance),簡稱AR膜, 是在玻璃基片上鍍多層復(fù)合光學(xué)膜,采用低折射率(L)和高折射率(H)材料交替形成膜堆,通過精心的膜層設(shè)計(jì)和膜厚嚴(yán)格控制,利用干涉效應(yīng)減少基片表面反射。

產(chǎn)品詳情

AR膜缺陷檢測系統(tǒng)是用于玻璃基板防反射涂層的缺陷檢查設(shè)備。 用倒置顯微鏡和線型攝像機(jī)對透明基板的表面和背面進(jìn)行高速掃描和檢測,并顯示檢測結(jié)果。
 

AR膜缺陷檢測系統(tǒng)特點(diǎn)和功能 
1.目標(biāo)基板 大400mm,透明基板自動對焦檢測。
2.檢測缺陷:AR膠片基板上的白色異物(缺失)或黑色異物,檢測分辨率2.8μm(1.4μm)。
3.遠(yuǎn)程控制復(fù)核檢查, 攝像機(jī)/照明/物鏡變化/舞臺和焦點(diǎn)。
緊湊的設(shè)計(jì),采用倒置光學(xué)系統(tǒng),高性能的線相機(jī)和復(fù)查相機(jī)檢測。
檢驗(yàn)艙門升起,將板子放在支架上進(jìn)行高速清潔檢驗(yàn)。 配有水平FFU
 

AR膜缺陷檢測系統(tǒng)性能

正常模式:5倍,分辨率2.8μm,檢測面/寬度3mm×80mm/秒+α。
高性能模式:10倍,分辨率1.4μm:檢測面/寬度1.5mm×40mm/秒+α。
另有標(biāo)記功能

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